CJ: Nhưng tôi nghe nói về việc nâng cấp các công cụ, cho dù đó có phải là một $MU thêm một lớp EUV bổ sung để làm sạch không gian phòng sạch, thay thế các công cụ KrF để tăng thông lượng $AMAT: Chúng tôi đã nghe rằng...